| 发明名称 |
INSPECTING METHOD FOR SURFACE OF WAFER WITH FILM |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH03225939(A) |
申请公布日期 |
1991.10.04 |
| 申请号 |
JP19900021080 |
申请日期 |
1990.01.31 |
| 申请人 |
HITACHI ELECTRON ENG CO LTD |
发明人 |
KURIHARA HAJIME |
| 分类号 |
G01N21/88;G01N21/93;G01N21/94;G01N21/956;H01L21/66 |
主分类号 |
G01N21/88 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
