发明名称 ORGANOMETALLIC VAPOR-PHASE EPITAXY APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH03225817(A) 申请公布日期 1991.10.04
申请号 JP19900020856 申请日期 1990.01.30
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 TAKENAKA NAOKI;OSHIMA MASAAKI
分类号 H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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