发明名称 APPARATUS FOR MAKING SILICON SINGLE CRYSTAL
摘要 Appareil de fabrication d'un monocristal de silicium de grand diamètre d'après le procédé Czochralski, où des ouvertures appropriées (11) sont ménagées sur le couvercle préservant la chaleur (10) afin d'éviter une influence indésirable causée par les gaz atmosphériques. L'appareil a la particularité que la somme des superficies des ouvertures (11) est plus grande que la superficie de la fente (18) formée entre le rebord inférieur du couvercle préservant la chaleur (10) et le niveau de la solution de silicium, et que ledit couvercle et l'élément d'isolation thermique (12) sont composés de tôle.
申请公布号 WO9114809(A1) 申请公布日期 1991.10.03
申请号 WO1991JP00366 申请日期 1991.03.19
申请人 NKK CORPORATION 发明人 KAMIO, HIROSHI;ARAKI, KENJI;SHIMA, YOSHINOBU;SUZUKI, MAKOTO;KANETO, TAKESHI;NAKAHAMA, YASUMITSU;SUKUKI, TAKESHI
分类号 C30B15/14 主分类号 C30B15/14
代理机构 代理人
主权项
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