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发明名称 PROBE DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03224246(A) 申请公布日期 1991.10.03
申请号 JP19900018030 申请日期 1990.01.30
申请人 TOKYO ELECTRON LTD 发明人 UCHIDA TAKUO
分类号 G01R31/26;G01R1/073;H01L21/66 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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