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发明名称 DRY ETCHING
摘要
申请公布号 JPH03224224(A) 申请公布日期 1991.10.03
申请号 JP19900019416 申请日期 1990.01.30
申请人 FUJITSU LTD 发明人 KAWAMURA EIICHI;TAKAHASHI YOSHINORI
分类号 C23F4/00;H01L21/302 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
主权项
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