Position measuring device.

摘要

Eine in Figur 1A dargestellte Positionsmeßeinrichtung (1) wird bevorzugt als Abstandssensor eingesetzt. Durch Aufspaltung und Beugung an mehreren Beugungsgittern (4, 7) und Reflexion in einem Tripelprisma (8) werden interferierende Teilstrahlenbündel (5, 6) erzeugt, deren Gangunterschiedsdifferenz (ΔOPD) direkt proportional zur Abstandsänderung der Beugungsgitter (4, 7) ist. Diese Gangunterschiedsdifferenz (ΔOPD) kann von einer Detektoreinrichtung als Hell- Dunkelmodulation detektiert werden. <IMAGE>