| 发明名称 |
METHOD FOR MEASURING IRREGULARITIES IN SLIT PITCH |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH03223612(A) |
申请公布日期 |
1991.10.02 |
| 申请号 |
JP19890241591 |
申请日期 |
1989.09.18 |
| 申请人 |
ONO SOKKI CO LTD |
发明人 |
SHINOHARA YOSHINORI;KOBAYASHI HIDEO;TAKASHIMA KEN |
| 分类号 |
G01B11/02;G01B11/24;G01B11/245 |
主分类号 |
G01B11/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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