集成复合传感器以及使用该集成复合传感器的静压和差压传送器及设备系统

摘要

在用于差压和静压传送器的集成复合传感器中，在静压检测薄片层上形成一对静压检测元件，在靠近差压检测薄片层中心的固定部分上形成另一对静压检测元件。出现在静压传感器中的差压产生的第二项是一个距离的函数，因此作用在每个静压检测元件上的影响相等。这样，通过将静压传感器构成一桥电路，可以检测到不受差压影响的静压值，因而有可能精确地确定差压和静压。

主权项

1、一集成复合传感器包含一传感器基片，其上形成多个应变敏感检测元件和一固定基座，用于支持其上的所述传感器基片，其特征在于至少具有一个与所述传感器基片上形成的差压检测薄片层(diaphragm)分开设置的静压检测薄片层，静压检测装置由形成在静压检测薄片层上应变敏感检测元件和形成在所述传感器基片固定部分上的应变敏感检测元件构成。