发明名称 ISOLIERENDE ZWISCHENSCHICHT FUER DIE SPANNUNGSENTLASTUNG EINER MEHRSCHICHT-METALLISIERUNG.
摘要
申请公布号 DE3681081(D1) 申请公布日期 1991.10.02
申请号 DE19863681081 申请日期 1986.06.19
申请人 FAIRCHILD SEMICONDUCTOR CORP., CUPERTINO, CALIF., US 发明人 LEHRER, WILLIAM I., LOS ALTOS CALIFORNIA 94022, US
分类号 C23C18/12;C23C16/40;C23C28/04;H01L21/31;H01L21/3105;H01L21/316;H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/522;H01L23/532;(IPC1-7):H01L23/52 主分类号 C23C18/12
代理机构 代理人
主权项
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