发明名称 PRODUCTION OF HIGH TEMPERATURE-SUPERCONDUCTIVE THIN FILM
摘要
申请公布号 JPH03223198(A) 申请公布日期 1991.10.02
申请号 JP19900076505 申请日期 1990.03.26
申请人 YOKOGAWA ELECTRIC CORP 发明人 MIZOBUCHI KATSUO;TONO YASUSHI;UMEZAWA TOSHIMASA
分类号 C30B29/22;C30B15/00;H01L39/24 主分类号 C30B29/22
代理机构 代理人
主权项
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