发明名称 |
PRODUCTION OF HIGH TEMPERATURE-SUPERCONDUCTIVE THIN FILM |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH03223198(A) |
申请公布日期 |
1991.10.02 |
申请号 |
JP19900076505 |
申请日期 |
1990.03.26 |
申请人 |
YOKOGAWA ELECTRIC CORP |
发明人 |
MIZOBUCHI KATSUO;TONO YASUSHI;UMEZAWA TOSHIMASA |
分类号 |
C30B29/22;C30B15/00;H01L39/24 |
主分类号 |
C30B29/22 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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