| 发明名称 |
Multistage dry compressing vacuum pump and method for its operation. |
| 摘要 |
<p>Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zum Betrieb einer mehrstufigen, trockenverdichtenden Vakuumpumpe (1) mit einem Einlaß (7) und einem Auslaß (9), bei welchem die angesaugten Gase gasförmige Bestandteile enthalten, die den Betrieb der Vakuumpumpe (1) gefährden; um die Gasbestandteile unschädlich zu machen, wird vorgeschlagen, daß die aus der Vakuumkammer (8) abgesaugten, die Vakuumpumpe (1) durchströmenden Gase durch einen Reaktionsraum (14) geführt werden, in welchem die die Vakuumpumpe gefährdenden Bestandteile bei einem zwischen dem Ansaugdruck und dem Auslaßdruck der Vakuumpumpe liegenden Druck chemisch oder physikalisch behandelt werden. <IMAGE></p> |
| 申请公布号 |
EP0448750(A1) |
申请公布日期 |
1991.10.02 |
| 申请号 |
EP19900105783 |
申请日期 |
1990.03.27 |
| 申请人 |
LEYBOLD AKTIENGESELLSCHAFT |
发明人 |
BACHMANN, PAUL, DR.;BRENNER. LOTHAR;KRIEHN, HARTMUT;KUHN, MONIKA, DR. |
| 分类号 |
F04C28/00;B01D53/04;B01D53/32;B01D53/68;F04C23/00;F04C25/02;F04C28/02;F04C28/28;F04C29/00;F04C29/12 |
主分类号 |
F04C28/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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