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发明名称
NIEDER-ENERGIE-RASTER-TRANSMISSIONS-ELEKTRONENMIKROSKOP.
摘要
申请公布号
DE3681051(D1)
申请公布日期
1991.10.02
申请号
DE19863681051
申请日期
1986.03.11
申请人
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP., ARMONK, N.Y., US
发明人
SMITH, DAVID ANTHONY, KATONOH NEW YORK 10536, US;WELLS, OLIVER CRAIG, YORKTOWN HEIGHTS NEW YORK 10598, US
分类号
H01J37/28;G01N27/00;G12B21/00;H01J37/26;(IPC1-7):G01N27/00
主分类号
H01J37/28
代理机构
代理人
主权项
地址
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