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发明名称 VERFAHREN ZUR VERRINGERUNG DER DEFEKTDICHTE IN ULTRADUENNEN SCHICHTEN
摘要
申请公布号 DE4010201(A1) 申请公布日期 1991.10.02
申请号 DE19904010201 申请日期 1990.03.30
申请人 HOECHST AG, 6230 FRANKFURT, DE 发明人 PETERSON, IAN ROBERT, 6500 MAINZ, DE;MOEHWALD, HELMUTH, PROF., 6530 BINGEN, DE;BIBO, ANNA MARIA, 6227 OESTRICH, DE
分类号 B05D1/20;B05D7/04;G02F1/361 主分类号 B05D1/20
代理机构 代理人
主权项
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