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发明名称 THIN-FILM FORMING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03223466(A) 申请公布日期 1991.10.02
申请号 JP19900014799 申请日期 1990.01.26
申请人 NEC CORP 发明人 HOSHINO SHIGEKI
分类号 C30B25/02;C23C16/27;C23C16/48;C23C16/50;C30B29/04;H01L21/205 主分类号 C30B25/02
代理机构 代理人
主权项
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