MESSVERFAHREN FUER EINEN HALBLEITER-DRUCKMESSFUEHLER.
摘要
申请公布号
DE3772514(D1)
申请公布日期
1991.10.02
申请号
DE19873772514
申请日期
1987.10.20
申请人
SUMITOMO ELECTRIC INDUSTRIES, LTD., OSAKA, JP
发明人
NISHIGUCHI, MASANORI YOKOHAMA WORKS OF SUMITOMO, YOKOHAMA-SHI KANAGAWA, JP;SOGAWA, ICHIRO OSAKA WORKS OF SUMITOMO;SUNAGO, KATSUYOSHI OSAKA WORKS OF SUMITOMO, KONOHANA-KU OSAKA-SHI OSAKA, JP
