发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH03222357(A) 申请公布日期 1991.10.01
申请号 JP19900016530 申请日期 1990.01.26
申请人 NIPPONDENSO CO LTD 发明人 HIMI KEIMEI;IIDA MAKIO
分类号 H01L29/73;H01L21/331;H01L21/74;H01L21/76;H01L21/761;H01L21/8249;H01L27/06;H01L29/732 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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