发明名称 SHEET STICKING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH03222418(A) 申请公布日期 1991.10.01
申请号 JP19900019786 申请日期 1990.01.29
申请人 NEC CORP 发明人 HAMANO HARUTO
分类号 H01L21/46;H01L21/304 主分类号 H01L21/46
代理机构 代理人
主权项
地址