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发明名称 METHODS AND APPARATUS FOR ALIGNMENT OF IMAGES
摘要
申请公布号 US5054097(A) 申请公布日期 1991.10.01
申请号 US19880276359 申请日期 1988.11.23
申请人 SCHLUMBERGER TECHNOLOGIES, INC. 发明人 FLINOIS, XAVIER A.;CONCINA, STEFANO E.
分类号 G01R31/26;G01R31/28;G01R31/302;G06T1/00;G06T3/00;G06T5/00;H01L21/66;H04N7/18;H05K13/08 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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