发明名称 INSPECTION OF IC LEAD TERMINAL
摘要
申请公布号 JPH03222344(A) 申请公布日期 1991.10.01
申请号 JP19900017260 申请日期 1990.01.26
申请人 KOMATSU LTD 发明人 SUZUKI TORU
分类号 G01N21/88;G01N21/93;G01N21/956;H01L21/66 主分类号 G01N21/88
代理机构 代理人
主权项
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