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发明名称 METHOD OF PREPARING OXIDE SUPERCONDUCTING THIN FILM
摘要
申请公布号 CA2038601(A1) 申请公布日期 1991.09.30
申请号 CA19912038601 申请日期 1991.03.19
申请人 SUMITOMO ELECTRIC INDUSTRIES, LTD. 发明人 TAKANO, SATOSHI;OKUDA, SHIGERU;YOSHIDA, NORIYUKI;HAYASHI, NORIKI;SATO, KENICHI
分类号 C01B13/14;C01G1/00;C01G3/00;H01B12/00;H01B12/06;H01B13/00;H01L39/24;(IPC1-7):H01L39/24;C23C14/02;C23C14/08 主分类号 C01B13/14
代理机构 代理人
主权项
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