| 发明名称 |
MULTILAYER RESIST STRUCTURE DEVICE AND MANUFACTURING METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR910007532(B1) |
申请公布日期 |
1991.09.27 |
| 申请号 |
KR19880070803 |
申请日期 |
1988.07.11 |
| 申请人 |
HUGHES AIRCRAFT CO. |
发明人 |
HENDERSON RICHARD C.;GARVIN HUGH L.;BEAUBIEN RANDALL S.;RENSCH DAVID B. |
| 分类号 |
G03F7/11;G03F7/09;H01L21/00;H01L21/027;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/311;H01L21/312;(IPC1-7):H01L21/00 |
主分类号 |
G03F7/11 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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