| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR MEASURING CHARACTERISTIC OF PHOTO DETECTOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH03220467(A) |
申请公布日期 |
1991.09.27 |
| 申请号 |
JP19900014785 |
申请日期 |
1990.01.26 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD |
发明人 |
KIYONAGA TETSUYA;CHIKAMA TERUMI;ONODA YOSHITO |
| 分类号 |
G01R31/26;G01J1/00;G01M11/00;G01R29/26;H01L21/66 |
主分类号 |
G01R31/26 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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