| 发明名称 |
MEASURING METHOD OF CHARACTERISTIC OF PROCESS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH03220417(A) |
申请公布日期 |
1991.09.27 |
| 申请号 |
JP19900015449 |
申请日期 |
1990.01.25 |
| 申请人 |
YOKOGAWA ELECTRIC CORP |
发明人 |
AZEGAMI TADASHI;YASUDA YOSHIHIDE;MANO SHUICHI |
| 分类号 |
G01D21/00;G05B11/36;G05B13/02 |
主分类号 |
G01D21/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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