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发明名称 METHOD FOR CHARGED PARTICLE BEAM LITHOGRAPHY
摘要
申请公布号 JPH03219617(A) 申请公布日期 1991.09.27
申请号 JP19900014639 申请日期 1990.01.24
申请人 JEOL LTD 发明人 KOMAGATA TADASHI
分类号 H01L21/30;H01L21/027 主分类号 H01L21/30
代理机构 代理人
主权项
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