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发明名称
MANUFACTURING APPARATUS FOR RESIN-SEALED SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPH03220738(A)
申请公布日期
1991.09.27
申请号
JP19900014873
申请日期
1990.01.26
申请人
MITSUBISHI ELECTRIC CORP
发明人
AKIYAMA TATSUHIKO
分类号
H01L21/56
主分类号
H01L21/56
代理机构
代理人
主权项
地址
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