发明名称 MULTILAYER INTERCONNECTION STRUCTURE
摘要
申请公布号 JPH03219636(A) 申请公布日期 1991.09.27
申请号 JP19900015206 申请日期 1990.01.24
申请人 NEC CORP 发明人 KATO YOKO
分类号 H01L23/52;H01L21/3205;H05K3/24;H05K3/46 主分类号 H01L23/52
代理机构 代理人
主权项
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