发明名称 INSPECTION METHOD OF MAGNETRON
摘要
申请公布号 JPH03219532(A) 申请公布日期 1991.09.26
申请号 JP19900012607 申请日期 1990.01.24
申请人 HITACHI LTD;HITACHI NISSHIN ELECTRON KK 发明人 ASO TOSHIYUKI
分类号 H01J23/36 主分类号 H01J23/36
代理机构 代理人
主权项
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