发明名称 |
CHARGED PARTICLE IMPLANTING DEVICE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH03219544(A) |
申请公布日期 |
1991.09.26 |
申请号 |
JP19900142153 |
申请日期 |
1990.05.30 |
申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
NOGUCHI KAZUHIKO;SASAKI SHIGEO;OKUDA SOICHIRO;NAKANISHI TETSUYA |
分类号 |
H01J37/04;H01J37/05;H01J37/317;H01L21/265 |
主分类号 |
H01J37/04 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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