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发明名称 CLEANING OF SEMICONDUCTOR SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPH03218629(A) 申请公布日期 1991.09.26
申请号 JP19900179011 申请日期 1990.07.04
申请人 FUJITSU LTD 发明人 OKUI YOSHIKO
分类号 H01L21/308;H01L21/304 主分类号 H01L21/308
代理机构 代理人
主权项
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