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发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03218052(A) 申请公布日期 1991.09.25
申请号 JP19900013318 申请日期 1990.01.23
申请人 HITACHI LTD 发明人 KOZONO KAZUHIKO;SHINTANI YOSHIO
分类号 H01L21/3205;H01L21/82;H01L23/52 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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