发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03218014(A) 申请公布日期 1991.09.25
申请号 JP19900014151 申请日期 1990.01.23
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 HIRAI HISASHI
分类号 H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
地址