正向作用的光刻胶

摘要

一种正性作用的能产生交联影像的光刻胶组合物及其应用。它以膜的形式施加于基底表面，并通过一光掩膜进行选择性影像曝光。光化辐射促使光生碱产生剂，在光刻胶膜的影像曝光部分中产生一种碱。光化学产生的碱中和了影像曝光区域中的酸。未曝光部分不含光化学产生的碱，加热该膜后被酸的催化作用交联，其曝交部分通过显影剂溶液作用被从基底上除去，将交联的正性影像留在基底上。它还可以通过电沉积的方法施加到导电性基底的表面上。

主权项

1、一种正性作用的光刻胶组合物，它能产生交联的影像，其含有一成膜混合物，含有聚合物的酸硬化树脂体系；一种酸或酸产生材料；和一种光生碱产生化合物。