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发明名称 METHOD OF MANUFACTURING A BI CMOS SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 EP0418505(A3) 申请公布日期 1991.09.25
申请号 EP19900114193 申请日期 1990.07.24
申请人 HITACHI, LTD. 发明人 SAGARA, KAZUHIKO;ITOH, KIYOO;KITSUKAWA, GORO;KAWAMOTO, YOSHIFUMI;KAWAJIRI, YOSHIKI
分类号 H01L21/8242;H01L21/8249;H01L27/06;H01L27/10;H01L27/108;(IPC1-7):H01L21/82 主分类号 H01L21/8242
代理机构 代理人
主权项
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