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发明名称 COMPOUND SEMICONDUCTOR DEVICE AND PRODUCTION METHOD THEREOF
摘要
申请公布号 EP0432948(A3) 申请公布日期 1991.09.25
申请号 EP19900313071 申请日期 1990.11.30
申请人 MITSUBISHI DENKI KABUSHIKI KAISHA 发明人 HIGAKI, YUKIO, C/O MITSUBISHI DENKI K. K.
分类号 H01L21/3213;H01L21/338;H01L29/40;H01L29/417;H01L29/812;(IPC1-7):H01L29/812;H01L29/52 主分类号 H01L21/3213
代理机构 代理人
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