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发明名称
STANDARD WAFER
摘要
申请公布号
JPH03218044(A)
申请公布日期
1991.09.25
申请号
JP19900014400
申请日期
1990.01.23
申请人
MITSUBISHI ELECTRIC CORP
发明人
NAKAMURA YASUNA
分类号
G01N21/88;G01N21/93;G01N21/94;G01N21/956;H01L21/66
主分类号
G01N21/88
代理机构
代理人
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