发明名称 HIGH RATE LASER ETCHING TECHNIQUE
摘要
申请公布号 EP0259572(B1) 申请公布日期 1991.09.25
申请号 EP19870110154 申请日期 1987.07.14
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 BRANNON, JAMES HAMMOND
分类号 H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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