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发明名称
METHOD FOR FORMING VIAS IN A PLANAR STRUCTURE
摘要
申请公布号
EP0165575(B1)
申请公布日期
1991.09.25
申请号
EP19850107402
申请日期
1985.06.15
申请人
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION
发明人
LEARY-RENICK, PAMELA ANNE;STRINIVASAN, RANGASWAMY
分类号
H01L23/12;H01L21/48;H01L23/538;H05K1/03;H05K1/11;H05K3/00;H05K3/46;(IPC1-7):H01L23/52
主分类号
H01L23/12
代理机构
代理人
主权项
地址
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