Method of producing micromechanical sensors for the AFM/STM profilometry and micromechanical AFM/STM sensor head,申请号US19900568306-传众专利搜索

发明名称	Method of producing micromechanical sensors for the AFM/STM profilometry and micromechanical AFM/STM sensor head
摘要
申请公布号	US5051379(A)	申请公布日期	1991.09.24
申请号	US19900568306	申请日期	1990.08.16
申请人	INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION	发明人	BAYER, THOMAS;GRESCHNER, JOHANN;KRAUS, GEORG;WEISS, HELGA;WOLTER, OLAF
分类号	G01B7/34;B81C1/00;C23F1/00;G01N27/00;G01Q60/16;G01Q60/38;G01Q70/02;G02B21/00;H01J37/28;H01L21/302;H01L41/09	主分类号	G01B7/34
代理机构		代理人
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