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发明名称 Method and apparatus for forming resist pattern
摘要
申请公布号 US5051338(A) 申请公布日期 1991.09.24
申请号 US19890441479 申请日期 1989.11.27
申请人 TOKYO SHIBAURA DENKI KABUSHIKI KAISHA 发明人 KATO, YOSHIHIDE;KIRITA, KEI;SHINOZAKI, TOSHIAKI;SHIGEMITSU, FUMIAKI;USUDA, KINYA;TSUCHIYA, TAKASHI
分类号 G03F7/16 主分类号 G03F7/16
代理机构 代理人
主权项
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