| 发明名称 |
Semiconductor device operating in high frequency range |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US5051810(A) |
申请公布日期 |
1991.09.24 |
| 申请号 |
US19890426926 |
申请日期 |
1989.10.26 |
| 申请人 |
MITSUBISHI DENKI KABUSHIKI KAISHA |
发明人 |
KATOH, TAKAYUKI |
| 分类号 |
H01L23/52;G01R31/26;G01R31/28;H01L21/3205;H01L21/66;H01L23/58;H01L23/66 |
主分类号 |
H01L23/52 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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