| 发明名称 |
X-Ray lithography mask and devices made therewith |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US5051326(A) |
申请公布日期 |
1991.09.24 |
| 申请号 |
US19890358312 |
申请日期 |
1989.05.26 |
| 申请人 |
AT&T BELL LABORATORIES |
发明人 |
CELLER, GEORGE K.;TRIMBLE, LEE E. |
| 分类号 |
G03F1/08;G03F1/14;G03F1/16;H01L21/027 |
主分类号 |
G03F1/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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