| 发明名称 |
POSITIVE PHOTORESIST SYSTEM |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
KR910007245(B1) |
申请公布日期 |
1991.09.24 |
| 申请号 |
KR19840007241 |
申请日期 |
1984.11.19 |
| 申请人 |
ROHM AND HAAS CO. |
发明人 |
GLEIM ROBERT D.;GRANDPRE MARK P.D. |
| 分类号 |
G03C1/72;C08F8/00;C08F8/48;G03C5/00;G03C5/18;G03F7/004;G03F7/023;G03F7/09;G03F7/095;G03F7/26;(IPC1-7):G03F7/004 |
主分类号 |
G03C1/72 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
