发明名称 METODO PER EFFETTUARE IN MODO SELETTIVO L'INDURIMENTO DI UN FILM SU UN SUBSTRATO.
摘要
申请公布号 ITRM910187(A1) 申请公布日期 1991.09.24
申请号 IT1991RM00187 申请日期 1991.03.21
申请人 PEAK SYSTEMS, INC. 发明人 STULTZ TIMOTHY J.
分类号 H01L21/316;F27B17/00;F27D99/00;H01L 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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