发明名称 RADIATION-SENSITIVE RESIN COMPOSITION
摘要
申请公布号 KR910007223(B1) 申请公布日期 1991.09.20
申请号 KR19890014650 申请日期 1989.08.06
申请人 JAPAN SYNTHETIC RUBBER CO.,LTD. 发明人 HOSAKA YOSHIHIRO;NOZUE IKUO;DAKADORI MASASIGE;HARITA YOSIYUKI
分类号 G03C1/00;C08K5/28;C08L61/06;G03C1/72;G03F7/004;G03F7/008;G03F7/022;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/008 主分类号 G03C1/00
代理机构 代理人
主权项
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