发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH03215970(A) 申请公布日期 1991.09.20
申请号 JP19900011584 申请日期 1990.01.19
申请人 NIPPONDENSO CO LTD 发明人 FUJII TETSUO
分类号 H01L29/73;H01L21/02;H01L21/331;H01L21/76;H01L21/762;H01L21/8249;H01L27/06;H01L27/12;H01L29/732 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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