发明名称 SELECTIVE EPITAXIAL METHOD
摘要
申请公布号 JPH03215389(A) 申请公布日期 1991.09.20
申请号 JP19900009522 申请日期 1990.01.19
申请人 AGENCY OF IND SCIENCE & TECHNOL 发明人 OGURA MUTSURO;KOMURO MASANORI;SHIMIZU KEIZO
分类号 C30B23/08;H01L21/203;H01L21/285 主分类号 C30B23/08
代理机构 代理人
主权项
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