发明名称 MANUFACTURE OF COMPLEMENTARY SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03215971(A) 申请公布日期 1991.09.20
申请号 JP19900011231 申请日期 1990.01.20
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 YOSHIDA TORU;KOYAMA HIROSUKE;SAKAMOTO TAKASHI
分类号 H01L29/78;H01L21/336;H01L21/8238;H01L27/092 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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