| 发明名称 |
POSITIVE TYPE PHOTORESIST |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR910007225(B1) |
申请公布日期 |
1991.09.20 |
| 申请号 |
KR19890008601 |
申请日期 |
1989.06.21 |
| 申请人 |
MITSUBISHI KASEI CORP. |
发明人 |
KISIMURA SHINJI;UOMA SIGEO;OJIAI DAMEIJI;KAMEYAMA YASUHIRO;KASI JIO |
| 分类号 |
G03F7/022;(IPC1-7):G03F7/022 |
主分类号 |
G03F7/022 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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