| 发明名称 |
DISPOSITIF DE COUPLAGE ET DE DISTRIBUTION D'UNE ENERGIE MICRO-ONDE SUR UN EXCITATEUR POUR LA PRODUCTION D'UN PLASMA |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
FR2648002(B1) |
申请公布日期 |
1991.09.20 |
| 申请号 |
FR19890007627 |
申请日期 |
1989.06.05 |
| 申请人 |
CENTRE NAL RECHERC SCIENTIFIQUE;ETAT FRANCAIS CNET |
发明人 |
JACQUES HENRI PELLETIER;YVES ALBAN MARIE ARNAL;MICHEL PICHOT |
| 分类号 |
H01J37/32;H05H1/46;(IPC1-7):H05H1/46;H05H1/10 |
主分类号 |
H01J37/32 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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