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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03214629(A) 申请公布日期 1991.09.19
申请号 JP19900010141 申请日期 1990.01.18
申请人 FUJITSU LTD 发明人 WAKAYAMA HIROYUKI
分类号 H01L25/16;H01L21/321;H01L21/60;H01L27/146 主分类号 H01L25/16
代理机构 代理人
主权项
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